Системы получения ультрачистой воды (УЧВ) для микроэлектронной промышленности

Производство полупроводников, микросхем и печатных плат требует воды высочайшей степени очистки (Ultra Pure Water — UPW). Даже единичные примеси ионов, органики или наночастиц могут вызвать брак целой партии продукции, нарушив топологию чипов. Требования к воде регламентируются международными стандартами SEMI F63 (классы F63-xx) и ГОСТ Р 52501-2005 (Тип I).

Проблемы неподготовленной воды

• Брак топологии: Ионы натрия, калия, кальция осаждаются на пластинах, вызывая короткие замыкания или нарушение проводимости.
• Дефекты фотолитографии: Органические загрязнения (ТОС) и бактерии создают дефекты на фотошаблонах и подложках.
• Частицы и мутность: Наночастицы (>0.05 мкм) действуют как центры кристаллизации, разрушая тонкие пленки.
• Коррозия оборудования: Агрессивные примеси разрушают чувствительные элементы установок травления и нанесения покрытий.
• Нестабильность процесса: Колебания удельного сопротивления ведут к непредсказуемым результатам травления и промывки.

‹

×

1 / 7

›

Решение Гейзер

Гейзер предлагает многоступенчатые комплексы получения УЧВ, соответствующие классам SEMI F63:

1. Предподготовка: Механическая фильтрация, умягчение, обратный осмос (RO) для удаления 98-99% примесей.
2. Глубокое обессоливание: Электродеионизация (EDI) для получения воды с удельным сопротивлением >16 МОм·см без использования химреагентов.
3. Полишинг (Finishing): Смешанный слой ионитов (Mixed Bed) для достижения 18.2 МОм·см.
4. Удаление органики и газов: УФ-окисление (185/254 нм) для снижения ТОС < 1-3 ppb, мембранная дегазация.
5. Ультрафильтрация: Барьер для частиц >0.05 мкм и бактерий.
6. Распределительная система: Контур из инертных материалов (PVDF, PP) с постоянной рециркуляцией и обеззараживанием.

Выгоды внедрения

• Гарантированное соответствие спецификациям SEMI и внутренним стандартам завода.
• Снижение процента брака пластин (Yield rate) и повышение выхода годных изделий.
• Стабильность технологического процесса 24/7.
• Полное импортозамещение систем водоподготовки.

Сервис

Работаем по строгим регламентам (Clean Room). Инженеры в спец одежде, валидация систем (IQ/OQ/PQ), онлайн-мониторинг параметров (TOC, Resistivity, Particles), срочная поставка картриджей и мембран. Гарантия чистоты воды в точке потребления.

Комплекс услуг по всей территории РФ и СНГ
по выбору, установке и обслуживанию

Лабораторный анализ воды

Разработка решения

Монтаж
и пусконаладка

Шеф-монтаж (технадзор)

Сервисное обслуживание

Ремонт, в том
числе экстренный

Технический аудит

Модернизация
и реконструкция